面板Array制程工艺及相关设备厂商汇总
- 来自：巨世显示 时间：2018-01-11
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面板的前段Array制程主要包括“薄膜、黄光、蚀刻、剥膜”四大部分。
首先，需要在TFT玻璃上沉积ITO薄膜层，这样整块TFT玻璃上就有了一层平滑均匀的ITO薄膜。
然后用离子水，将ITO玻璃洗净。接下来，在沉积了ITO薄膜的玻璃上涂上光刻胶，使其在ITO玻璃上形成一层均匀的光阻层。烘烤一段时间，让光刻胶的溶剂部分挥发，增加光阻材料与ITO玻璃的粘合度。
用紫外光(UV)通过预先制作好的电极图形掩模版照射光刻胶表面，使其发生反应，在涂有光刻胶的玻璃上覆盖光刻掩模版在紫外灯下对光刻胶进行选择性曝光。
接着，用显影剂将曝光部分的光刻胶清洗掉，只剩下未曝光的光刻胶部分，然后用离子水将溶解的光刻胶冲走。
显影之后需要加热烘烤，让未曝光的光刻胶更加坚固的依附在ITO玻璃上。
然后用适当的酸刻液将无光刻胶覆盖的ITO膜的蚀刻掉，只保留光刻胶下方的ITO膜。ITO玻璃为(In2O3与SnO2)的导电玻璃，未被光刻胶覆盖的ITO膜易与酸发生反应，而被光刻胶覆盖的ITO膜可以保留下来，得到相应的拉线电极。
剥膜：用高浓度的碱液(NaOH溶液)作脱膜液，将玻璃上余下的光刻胶剥离掉，从而使ITO玻璃形成与光刻掩模版完全一致的ITO图形。
用有机溶液冲洗玻璃基本标签，将反应后的光刻胶带走，保持玻璃洁净。这样第一道薄膜导电晶体制程就完成了，一般至少需要5道这样的过程，在玻璃上形成复杂精密的电极图形。用相同的方法在玻璃上拉出其他的ITO电极图形。形成复杂精密的电极图形，可以更好的控制液像素点。
这样，面板前段Array制程就完成了。从整个过程不难看出，前面在TFT玻璃上沉积ITO薄膜、涂光刻胶、曝光、显影、蚀刻，最终是为了在TFT玻璃上形成前期设计好的ITO电极图形，整个生产过程的大致步骤并不复杂，但是所需要的设备却不少。
面板Array制程各个环节设备厂商一览
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