中电熊猫成功点亮15.6吋BCE面板线
- 来自：巨世显示 时间：2017-07-24
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近日，中电熊猫用于生产15.6吋BCE面板线--中电熊猫8.5代线成功点亮，这也是中电熊猫2017年重点研发项目“非晶态IGZO BCE制程量产工艺研究”的重大突破!标志着中电熊猫在IGZO技术领域的地位得到了确定，必将有力带动面板产品的高端化，对大陆电子以及中电熊猫平板显示产业创新发展带来机遇。
BCE结构(即背沟道蚀刻型结构)是IGZO TFT器件的一种结构类型。目前，中电熊猫8.5代线IGZO制程技术采用的是TFTESL结构(即刻蚀阻挡型结构)，器件所占版图空间较大，不利于实现更窄的边框设计和更高的开口率;而BCE结构具有光刻次数少、器件小型化、制造成本低等优点,其技术开发量产有利于降低产品成本、实现高端产品开发、增强IGZO技术的市场竞争力。
而中电熊猫8.5代线15.6吋BCE面板线成功点亮，对中电熊猫8.5代线IGZOTFT器件从ESL结构向BCE结构转变意义非凡，标志着中电熊猫朝着IGZO BCE制程量产迈出了重要一步，将助推中电熊猫产品向更高分辨率的高端产品转型。
在今年年初，中电熊猫正式启动“非晶态IGZO BCE制程量产工艺研究”项目，组建项目团队，开展项目攻关。项目实行分阶段闭环管理，定期开展阶段性成果测试与评价，并实时监控项目进度和质量，先后解决了BCE制程中IGZO薄膜易腐蚀等关键性技术难题，完成了新靶材规格确认、新铜酸烧杯试验、mask设计、试生产等一系列工作，并于近日首次试做即成功点亮，BCE工艺的优化工作也随后完成。
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