中电熊猫成功点亮15.6吋BCE面板线

  • 来自:巨世显示      时间:2017-07-24
  • 浏览数:1
  • 近日,中电熊猫用于生产15.6吋BCE面板线--中电熊猫8.5代线成功点亮,这也是中电熊猫2017年重点研发项目“非晶态IGZO BCE制程量产工艺研究”的重大突破!标志着中电熊猫在IGZO技术领域的地位得到了确定,必将有力带动面板产品的高端化,对大陆电子以及中电熊猫平板显示产业创新发展带来机遇。


    “中电熊猫成功点亮15.6吋BCE面板线”


    BCE结构(即背沟道蚀刻型结构)是IGZO TFT器件的一种结构类型。目前,中电熊猫8.5代线IGZO制程技术采用的是TFTESL结构(即刻蚀阻挡型结构),器件所占版图空间较大,不利于实现更窄的边框设计和更高的开口率;而BCE结构具有光刻次数少、器件小型化、制造成本低等优点,其技术开发量产有利于降低产品成本、实现高端产品开发、增强IGZO技术的市场竞争力。


    而中电熊猫8.5代线15.6吋BCE面板线成功点亮,对中电熊猫8.5代线IGZOTFT器件从ESL结构向BCE结构转变意义非凡,标志着中电熊猫朝着IGZO BCE制程量产迈出了重要一步,将助推中电熊猫产品向更高分辨率的高端产品转型。


    在今年年初,中电熊猫正式启动“非晶态IGZO BCE制程量产工艺研究”项目,组建项目团队,开展项目攻关。项目实行分阶段闭环管理,定期开展阶段性成果测试与评价,并实时监控项目进度和质量,先后解决了BCE制程中IGZO薄膜易腐蚀等关键性技术难题,完成了新靶材规格确认、新铜酸烧杯试验、mask设计、试生产等一系列工作,并于近日首次试做即成功点亮,BCE工艺的优化工作也随后完成。

推荐

联系
电话

客服热线

13902609379

微信

微信